كان الراحل متزوجا من شقيقة الفنانة شريهان التي كتبت على حسابها بموقع «تويتر»: «انتقل إلى رحمة الله تعالى والد أبناء أختي الوسطى هويدة، الغالي المرحوم المخرج كريم ضياء الدين».
وأضافت: «أسأل الله للفقيد الغالي الرحمة والمغفرة وللأسرة وأبنائه عمر، ريم وجيهان الصبر والسلوان».ولد ضياء الدين عام 1946 وظهر في مرحلة الطفولة في بعض الأفلام من إخراج والده أحمد ضياء الدين مثل (أرضنا الخضراء) عام 1956 أمام ماجدة الصباحي وشكري سرحان ومحمود المليجي وحسين رياض.
